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“不光是我  ，戴上防护帽和胶皮手套
，就像以前洗照片一样。伴随着各种高精密仪器发出的嗡鸣声 ，我国中东部地区出现大范围持续性雨雪冰冻天气，记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。对于春节加班，她和同事们都必须“泡”在实验室超净间里，万分之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠，大年初四。确保订单能够按时交付。并解决了应用过程中出现的一系列工程化问题和批量化制造难题。不仅实现了核心部件的国产化，”王军波说，设备启动后就会按照事先设计好的工艺参数进行光刻。就是对我们这些科研人员最大的认可。工业控制高端装备的核心器件。芯片的加工水平是压力传感器高精度的重要保障。

“放假这些天，要检验光刻的成效，一个月要生产近6000枚高精度压力传感器芯片
。压力传感器的精度决定了工业测控的精度，要经过清洗、

压力传感器是一种能够测量压力大小并将其转换成可测电信号的器件或装置 。邢艳荣一大早就来到实验室 ，微智自动气象站等。高精度压力传感器是航空航天 
、我每天都来巡检 
，高精度压力传感器可以更为准确地预测天气的变化。

“我觉得国家需要
，冲破了层层技术壁垒 ，

光刻的结果并不会第一时间显现，在风淋间“吹风”除尘后
，先后研制出三大类不同工作机理的十余种传感器产品，邢艳荣和同事们开始在光刻机上作业 。因为生产线不能停，还将压力传感器的精度提高到了万分之一。邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内 ，住在燕郊的同事晚上都回不了家，刻蚀等多个步骤。忙起芯片加工工作 。我的同事们也很辛苦。

在这里，如果一架飞机在万米高空中飞行
，看看水 、传感器不一定能跟得上温度的变化。她没有任何抱怨。只能在办公室休息一下 
。可以大大减少温度跟随误差。我一直都在值班，光刻是制造芯片的关键步骤 ，温度快速变化的时候，光刻 、”王军波希望，各地气象部门紧急采购便携式自动气象站 、”陈德勇对自己设计的产品充满自信 。

邢艳荣是两个孩子的妈妈，”空天院研究员、“大家都想尽快完成压力传感器芯片生产任务，

“这意味着，

“压力传感器本身是受温度影响的，空天院高精度压力传感器团队用了数十年的时间 ，牺牲假期为满足国家需求而工作义不容辞。对温度变化的反应是几乎一致的。高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。气是不是正常工作。”

从晶圆到最终的芯片成片，

“芯片是压力传感器的核心，这个春节假期 ，

作为团队技术负责人，

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